高纯度电子级多晶硅量产 中国集成电路制造获突破

中国纯度要求达到99.999999999％的电子级多晶硅近日实现量产。中国《科技日报》北京时间6月6日刊文称，这标志着中国电子级多晶硅突破海外多年技术封锁，填补了中国集成电路产业专项一项空白。

高质量电子级多晶硅实现量产，有助于中国摆脱在半导体集成电路制造上对进口材料的依赖（图源：新华社）

据6日报道，2018年5初，中国江苏的一家制造半导体材料的公司出产的一批集成电路用高纯度硅料出口韩国。这是中国多晶硅制造企业首次向国际市场出口集成电路用高纯度硅料。

同时，这家公司也开始并已向国内部分晶圆加工厂批量供货。

中国业内人士介绍，中国是世界最大电子产品制造国，每年对集成电路器件及芯片需求巨大，但几十年来基本依赖欧美日进口。

此次中国半导体集成电路用硅料达到国际一流质量标准，并形成规模化销售，填补了该产业在中国的技术空白。

据介绍，电子级多晶硅材料是集成电路的关键基础材料，过去中国市场上的集成电路用多晶硅材料基本完全依赖进口。电子级多晶硅是纯度最高的多晶硅材料。