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国产光刻机被誉打破“晶片荒” 内媒批:驴吹成马

自中美贸易战爆发以来,晶片生产技术一直为各界焦点,例如内地电讯龙头中兴因一度遭美国「封杀」,几乎陷于没顶之灾。其后中国领导人不断呼吁科研人才开发「核心技术」,反复强调「大国重器」不能假手于人。

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11月29日,中科院研制的「超分辨光刻装备」通过验收,光刻分辨力达到22纳米。部份内媒以〈国产光刻机伟大突破,国产晶片白菜化在即〉和〈厉害了我的国,新式光刻机将打破「晶片荒」〉之类为题,庆祝中国不再受制于人。然而内地《科技日报》12月2日刊文指出,这类报道只是一厢情愿。

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报道指出,就晶片制作而言,光刻机作用在于「印刷」电路,就像照相,图像投在感光底片上,蚀掉一部份。自光刻技术面世半个多世纪以来,为了节省能源和所需矽料,晶片愈做愈小,致使投影刻划难度愈来愈高,因而催生顶尖光刻机利用波长13.5纳米的极紫外光源,以刻划10纳米以下的线条。

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