福建安芯半导体再出货一台光刻机

近日，福建安芯半导体科技有限公司时隔1个月，再次出货一台价值近千万元的光刻机，现已交付中国国内某研究所用于cmos领域研究。

据中国芯谷报道，通过四天左右的恒温气垫车长途运输，光刻机设备顺利从园区运抵中国国内某研究所，为该研究所在cmos领域研发提供了重要支撑。此外，双方将就半导体领域研发进行深入对接，共同推动产业发展。

3月13日，福建安芯半导体一台值近千万元人民币（1元人民币约合0.1418美元）的光刻机出货，交付杭州海康威视公司用于生产耳温枪。

据报道，当时福建安芯半导体总经理张琪表示，目前我们尚不能完全自主研发，但通过改造、提升，实现了60%至70%的中国国产化。

据了解，光刻机分为接触式、接近式、步进式。目前中国国内使用较多的为步进式光刻机。光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，世界上只有少数厂家掌握，如ASML、尼康、佳能。因此光刻机价格昂贵。

中国在集成电路领域的光刻机和光刻胶等设备材料高度依赖进口。（新华社）

福建安芯半导体科技有限公司通过对步进式光刻机设备翻新、改造和安装调试多年的经验累积，积淀光刻机设备研发技术，进行光刻机主要零部件自主研发替代，推动半导体设备中国国产化。资料显示，福建安芯半导体是泉州芯谷南安分园区引进的首家高科技半导体设备公司，主要经营黄光设备设备翻新、改造和安装调试，自主研发新黄光和蚀刻设备的销售及技术支持，并提供半导体整线解决方案，产品涉猎集成电路、LED、MEMS、显示面板、光伏等黄光设备领域。