台积电向荷兰ALSM大量订购极紫外光刻机 中国企业仍订购无望

消息人士透露，台积电已向阿斯麦（ASML）预订2021年所需极紫外(EUV）光刻机，至少13台。

综合媒体报道，在5nm、6nm工艺大规模投产、第二代5nm工艺即将投产的情况下，芯片代工商台积电对极紫外光刻机的需求也明显增加。

中国媒体快科技11月10日报道称，ASML在光刻机领域几乎是巨无霸的存在，而他们对于与中国企业合作也是非常欢迎，无奈一些关键细节上被美国卡死。

据悉，EUV光刻机是光刻机在发展过程中的第五代产品，由于采用了极紫外线，它的最小工业节点到了22nm至7nm，可以说是世界上最先进的光刻机设备。而这种设备，只有ASML能造出来。

2018年4月，中芯国际曾向ASML订购了一台EUV光刻机，价值1.2亿美元，预计2019年年初交货，但最终这项交易未能达成。因美国方面盯上了这笔交易，美方官员与荷兰官员进行了至少四次会晤，讨论可否直接封杀这笔交易。

报道认为，荷兰对于向中国大陆出售光刻机一直是非常积极的，ASML也已经向荷兰政府提交出口EUV光刻机的申请，而荷兰政府则在等待美国政府的态度。