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SEMICON/半導體掀「面板級」轉型潮 大廠齊攻技術解方搶商機

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人工智慧(AI)浪潮席捲全球,帶動高算力晶片與高頻寬記憶體(HBM)需求呈爆發性增長。為突破現有晶圓尺寸的產能與成本限制,半導體先進封裝正加速從傳統「晶圓級」跨入「面板級封裝(Panel-Level Packaging, PLP)」。在國際半導體展的「面板級扇出型封裝創新論壇」上,科林研發Sabre 3D設備產品線負責人Thomas Ponnuswamy指出,面板級封裝能大幅提升面積利用率並創造規模經濟,但如何在大面積基板上達到「晶圓級精度」,已成為業界競爭的關鍵戰場。

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AI晶片巨型化成趨勢 面板級封裝迎倍數產能爆發

Thomas Ponnuswamy分析,AI晶片封裝尺寸持續擴大,預計到2030年,單一封裝面積將達到14倍光罩尺寸,內部需整合多達12顆邏輯晶片與24顆HBM,並逐步導入微凸塊(Micro-bump)甚至混合鍵合(Hybrid Bonding)等超高精度技術。

在此趨勢下,傳統圓形晶圓的邊角浪費問題開始出現。以9.5倍光罩尺寸的CoWoS晶圓為例,單片晶圓僅能切割約4顆晶片;若轉移至310×310毫米的方形面板上,產出量可直接翻倍,未來若擴大至510×515毫米以上大型基板,產能更將呈倍數增長,成為各晶圓代工與封測巨頭搶進的焦點。

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跨越技術鴻溝 業界直面「四大製程瓶頸」

儘管商機龐大,面板級封裝要達到商業化量產,仍需克服四大製程考驗:

  • 均勻性控制:大面積沉積易受線路佈局影響導致電流分佈不均,業界正透過立式/水平電鍍腔體設計與自研模擬軟體,提前精準調控電流分佈。
  • 角落邊緣效應:方形面板缺乏圓形對稱性,需藉由流場與微影/蝕刻溫控最佳化,消除邊角缺陷。
  • 化學品動態管理:結合前饋計算(Feed-forward)與即時反饋機制動態補充鍍液,使藥液回收率提升至90%以上,兼顧良率與成本效益。
  • 基板翹曲問題:基板尺寸放大且材質逐漸轉向超薄玻璃,翹曲風險劇增。

導入AI設備智慧化與協作機器人 加速量產落地

除了製程創新,推動面板級封裝從研發邁向高量產的核心在於「設備智慧化(Equipment Intelligence)」與「自動化」。透過機器學習分析海量機台訊號,不僅能進行預測性維護、防止晶片報廢,更能實現跨廠區機台參數精準匹配;產線亦同步導入協作機器人消除人為失誤,大幅提升量產效率。

目前國際設備大廠已在歐美等地設立卓越技術中心與展示實驗室,並攜手超過10家晶圓與封測核心客戶加速驗證,全力推動面板級封裝生態系成形,迎戰下一世代AI算力爆發期。

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