半導體展盟立將秀AI機器人 天虹展示UV ALD設備

（中央社記者張建中新竹21日電）SEMICON Taiwan將於9月2日登場，台灣設備廠盟立將展示AI機器人和半導體自動化系統，致茂展示測試系統，天虹展示UV原子層沉積（ALD）等領先設備。

SEMICON Taiwan將於9月2日至4日在南港展覽館、漢來大飯店和雅悅會館登場，預計將有超過1300家廠商參展，攤位多達4300個，規模再創新高。

盟立表示，半導體展展出重點為AI機器人及半導體自動化系統，包括盟立機器人系列產品、半導體自主移動機器人（AMR）全方位解決方案、半導體OHT空中搬運系統、面板級封裝與ABF載自動物料搬送系統（AMHS）解決方案，以及旗下盟英人形機器人關鍵零組件。

致茂指出，半導體展將展出一系列測試系統，包括系統單晶片（SoC）和射頻（RF）測試系統、先進IC測試分類系統、晶圓和面板級3D量測系統、奈米粒子監測系統以及電氣安規測試解決方案。

天虹表示，UV ALD是以光取代電漿反應，避免過熱的風險，將挑戰世界第一地位。至於面板級封裝（PLP）設備，市場反應熱烈，即將銷售第5台設備。（編輯：潘羿菁）1150821