智慧工廠再進化 四足機器人成半導體巡檢新戰力

半導體產業邁入智慧化時代，機器狗成為工廠巡檢的新幫手。這款四足機器人不僅能在廠房內自由穿梭，還具備比人眼更銳利的視覺感測能力，可偵測機具過熱等異常狀況。業者強調，機器狗的導入並非取代人力，反而因此雇用更多工程師，讓人員能站在更重要的位置，指揮這群能自主行動的智慧機器。

在半導體展覽會場上，一隻機器狗靈活地爬上爬下、起立趴下，所有行為幾乎與真正的狗狗一模一樣。只要它動了起來，周圍立刻吸引大批民眾狂拍。各家廠商在展場上拿出看家本領，而這隻機器狗，正是準備進入工廠執行巡檢任務。

人眼看不到的危險　機器狗靠感測器提前預警

綠捷執行副總陳威鳴說明，機器狗採用的電池能量密度較小，但安全性高，不會爆炸也不會起火。在半導體廠的應用上，廠域規劃基本上會在電量剩餘30%時，讓機器狗自動尋找就近可充電的地方，而且所有充電都採用無線充電方式。

機器狗憑藉四條腿的設計，行走時更加穩定，甚至可以載重達50公斤的設備，在工廠裡自由移動。它的任務不是在一般廠房，而是在半導體工廠裡執行設備巡檢。機器狗在展場裡走一圈看似簡單，但進入半導體場域後，重點是要能跨越人群、跨越障礙，同時資安、穩定度與潔淨度都必須符合嚴格考驗。更重要的是，它必須能找出人員查不出的異常。

綠捷總經理殷華勛指出，現在人員在巡檢時，每天都在固定場域裡不停重複查看、抄寫資料，有時還要執行一些較危險的工作，例如在高溫度、高危險性的環境中作業，這些其實不適合由人來執行。談到是否會影響人的工作，殷華勛表示其實不會，為了這隻機器狗以及巡檢機器人，公司反而雇用了更多的工程師。

機器狗的感測能力比人的眼睛還要銳利，比鼻子更加靈敏，走過的地方還能360度確認有沒有機具過熱的問題。在缺工時代，半導體廠更加仰賴智慧搬運。製程時間一到，機器人就會主動前往指定機台，把晶圓和物料送往下一站。精密製程最怕碰撞，為避免任何人為疏失，穿梭在產線裡的機器人能協助穩住物流系統。

四足機器人跑產線　半導體智慧化不只靠AI晶片

不過，輪型機器人只能行走在平面，遇上樓梯、斜坡或狹窄空間就會受限。四足機器狗正是因此有了進場的機會。展場裡就有好幾隻機器狗相互較勁。盟立聯合事業群處長邱子奕表示，機器狗的重點在於關鍵零組件，包括關節模組、斜坡減速機與IPC等，這些全部都是自主操控，技術完全自主掌握。

要訓練機器狗走路、巡檢，必須運用大量的模型。如果遇到無法辨識的場景，有業者採用創新方法解決。操作人員完全沒有任何穿戴式設備，而是由真人直接示範給機器人看，透過4個鏡頭捕捉動作，讓機器人看見真實世界並做出實際行動。

安格科技公司總經理特助蘇界賓說明，機器人可以跟著操作人員的動作開始行動。這有兩個好處，第一是可以讓一個人的動作完全不失真地被機器人學會；另一個情況是，透過螢幕可以看到機器人的視角，這個人型遙控器的應用非常廣泛。例如在無塵室，以前必須穿著無塵衣進去，但現在可以靠著遠端遙控，讓機器人在無塵室裡執行該做的事情，救災或危險場所也能適用。

過去必須穿戴裝置才能捕捉人的行為動作，機器人讀懂後才能付出行動，這樣不僅會有落差，也無法及時反應。現在實體與虛擬直接無縫連結，大幅提升效率。

在展場裡，大家拍攝的焦點是機器狗會走、會趴的有趣畫面，但真正進到工廠後，工程師在意的是它能不能順利和大家一起工作。人工智慧的發展並非取代人力，而是讓真人站在更重要的位置，指揮一群看得懂、也能自己動的機器。

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